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机械设备行业专题报告:刻蚀设备国产替代空间广阔 看好长期发展前景

作者:BET9KU体育   来源:  时间:2022-07-08 01:09  点击:

  技术层面,干法刻蚀是目前主流,原子层刻蚀为未来方向刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀和干法刻蚀,由于在,刻蚀率、微粒损伤等方面,具有较“大的优势,干法刻蚀是目前主流技术。按被刻蚀!材料特性,不。同,目前常用的方法可“分。为离子束刻蚀、等离子体刻蚀和反!应离子刻蚀,其中电容性等离!子体刻蚀!(CCP)和电感性等离子体刻蚀(ICP)两种刻蚀设备基本覆盖目前主要的刻蚀应用。不过随着制程的:不断缩小,受光,波长限!制,关键尺寸无法满足要“求,必须采用多重模板工”艺,重复多次薄“膜沉积和刻蚀工序以实现更小,的线宽,使得薄膜沉积和刻蚀次数显著增加,10 纳米工艺和7 纳米工艺所需刻蚀步骤更是超过100 次。原子层刻蚀能够精密、控制被去除材料量而不影响其他部分,能较好解决等离子刻蚀刻蚀速率差异与下层材料损伤等问题,未来有望发展、为新一代主流刻蚀技术。

  市场,层面,刻蚀设。备行业“集!中度高,发展空间广阔2021 年!中国大陆以296 。亿美元设备销售额连续”第二年成为全球设备最大市场,目前全球设备市场主要被国外企业占据,2021 年全球前十五大半导体设备厂商排名中仅有ASM Pacific Technology 来自中国香港,排名第14 位。设备投!资额方面,刻蚀设备在晶圆、加工设备投资中占,比22.14%,是半导!体产业中“第一大设备”。目前全球刻蚀设备行业的龙头企业仍然为泛林半导体、东京电!子和应用材料三家,2020 年三家企业合计市场份额占到了全球刻蚀设备市场的90%以,上,其中泛林半导体独。占44.7%的市:场;份额。根据!SEMI 的预测,2022 年全球半导体设备市场规模将达到1140 亿美元,BET9KU体育预计2022 年全”球刻蚀设备规模将达到250.8 :亿美元,国内刻;蚀设备市场规模将达到75.24 亿美元。

  未来看点:先进,制程。不断突破,国产替代未来可期2014 年9 月成立的!大基金一期经过5 年投资布局目前已进入回收期,在大基金:助力下,国内刻蚀。设备企业已实现部分先进制程突破,涌现出一批技术领先:的龙头企业。大基金;二期、成立于2019 年10 月22 日,注册,资本。为2041.5亿元,接力一期进!行投资布局,BET9KU体育预测,其重”点可!能倾斜“设备;和材。料方向,将对;包括光。刻机、刻蚀机、薄膜设备、测试设。备等领;域企业,提供进“一步支持,帮助:龙头企业;巩固自?身市场、地位。预计将!会带动万”亿级!别社会投资。从下”游应用来。看,目前我国5G 建设仍处于高速发展阶段,考虑到“双碳”政策下?锂电、光伏需求!长期。向好,看好国内“先进!制程:闭环供、应加速建设,BET9KU体育认为刻蚀设备具备较大投资价值,建议关注中微公司(688012)、北方华创(:002371)。

  风。险提示:疫情全“球蔓延风险;宏观经济增速低、于预期;原材料价格波动风险;全球贸易摩擦风险。

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